260℃クリーン、真空対応

ジェイテクトのクリーン環境用ベアリング「クリーンプロ®シリーズ」の高温タイプ。ベアリングの転がり面に耐熱性のあるふっ素高分子被膜をコーティング、耐熱性の向上を実現。260℃の高温クリーン環境に適応する製品です。

用途：
半導体製造装置、液晶製造装置、搬送装置、真空機器、スパッタ装置

クリーンルーム、真空機器などに

ジェイテクトのクリーン環境用ベアリング「クリーンプロ®シリーズ」の標準タイプ。グリースを使用するクリーン環境用ベアリングと比べて、低発じん、低アウトガスを実現。様々なクリーン環境用途に適します。

用途：
半導体製造装置、液晶製造装置、真空機器、露光装置、スパッタ装置、真空モーター

グリースの潤滑性をクリーン・真空用途に

クリーン環境、真空環境に適したふっ素系EXSEV®-EX（グリース）を封入しています。環境規制対応（PFOA 非含有）。また、グリース潤滑ですので、潤滑信頼性に優れています。

用途：
半導体製造装置、液晶製造装置、搬送ロボット、真空ポンプ

クリーン、真空対応の基本仕様

クリーン環境・真空対応の基本仕様となるベアリングです。一般的なグリースや、さび止め油を使用しない固体潤滑軸受です。保持器材料に発じんが少ないふっ素樹脂を使用することで、発じん量を低減しています。

用途：
半導体製造装置、液晶製造装置、搬送装置、検査装置

セラミックを様々な用途に

通常の軸受鋼を用いたベアリングが使用できないクリーン環境、腐食環境、真空環境、絶縁用途や非磁性用途での使用を想定したベアリング。玉と軌道輪にセラミックス（窒化けい素）を使用することで、通常軸受鋼より高い耐食性能を実現。

用途：
半導体製造装置、液晶製造装置、半導体検査装置、合成繊維製造装置、製缶装置、超音波モータ

超高温800℃

800℃の超高温に対応するベアリング。すべての部品をセラミックス（窒化けい素）で構成しており、保持器は用いない構造。高温だけでなく耐食性、非磁性、絶縁性能を有し、多様な環境に適応します。

用途：
焼成炉内搬送装置、炉内ファン

超高温真空対応

350℃までの高温かつ、10-10Paの超高真空に適応するベアリング。ステンレス鋼製の玉にイオンプレーティングした銀によって潤滑する固体潤滑軸受。

用途：
半導体製造装置、液晶製造装置、真空蒸着装置、医療機器、真空モーター

超薄肉形ベアリングのクリーン仕様

産業用ロボットに広く使用されているKシリーズ超薄肉形玉軸受をクリーン、真空用途に適応させたベアリング。潤滑はEXSEV®-EX(グリース)（ふっ素系）を標準としています。

用途：
半導体製造装置、液晶製造装置