モータ部には中空構造のAC サーボモータを、エンコーダ部には超小型・高分解能の光学式ロータリーエンコーダを採用しており、ギアなどを使用しないダイレクトな設計となっているため、精密で高分解能な位置決めが可能です。精度・形状・ストロークのご要望に合わせ、さまざまなラインナップがございます。

【特徴】
・超小型　　　　φ16～28mm
・ストローク　　6～30ｍｍ
・定格推力　　　1.5～6kgf
・高分解能　　　0.24～0.625μm
・一方向繰り返し精度　3～20μｍ
・両方向繰り返し精度　5～25μｍ
・両方向位置決め精度　10～50μｍ